Polymers in Microlithography.. Materials and Processes
Reichmannis E., MacDonald S.A., Iwayanagi T.Thể loại:
Năm:
1989
In lần thứ:
1
Nhà xuát bản:
ACS
Ngôn ngữ:
english
Trang:
450
ISBN 10:
0841217017
ISBN 13:
9780841217010
Loạt:
ACS Symposium Series 412
File:
DJVU, 4.96 MB
IPFS:
,
english, 1989